三坐标一般通常称其为三坐标测量仪，其基本的工作原理就是通过几何图型在在坐标空间上的x,y,z坐标位置，而得出最终的理论尺寸，通过比较后测量出误差值。

工作原理以三个直线光栅尺做测量基准，以测量头的触发发出测量信号，此时锁定三个坐标的数据，以此可以量出工件的实际尺寸。