三坐标按操作方法可以分为手动三坐标测量仪和自动三坐标测量仪，而且每一种三坐标测量仪又有不同的系列，不同系列的三坐标测量仪使用方法都不一样；下面是一些共性的使用方法：

    一、量测前准备：
    a、检查空气轴承压力是否足够
    b、安装工件
    二、测头选择及安装
    a、将适当的测头装于Z轴承接器
    b、检视Z轴是否会自动滑落（否则应调整红色压力平衡调整阀）
   三、量测操作
    a、开启处理机电源
    b、开启打印机开关
    c、参考操作手册，选择所需功能之指令
    四、完成后注意事项
    a、Z轴移至原来位置后，锁定
    b、X，Y轴各移至中央，锁定
    c、关电源及压力阀
    d、取下测头
    e、并作适当的保养