在维修保养三坐标测量机中气源维护一般采用空压机和冷冻干燥机，空压机和空气干燥机才是专业净化空气的装置。三坐标检测室内的气源如果达不到要求，就要考虑单独配台空压机了。相对一台三坐标测量仪来说， 气源设备一般成本不高， 并且这项设备投资带来的是高效、稳定的三坐标测量机测量、检测，不仅可以过滤掉空气中的水分、油迹， 还能降低三坐标的故障率，延长三坐标测量机的使用寿命，一举两得。
三坐标测量仪配置的空压机的一般要求如下：
1.为保障三坐标测量仪的正常运行，建议安装冷凝设备（ 空压机输送的压缩气体温度在40-80℃之间），否则高温气体在管道内冷凝，形成大量的冷凝水，势必将腐蚀管道，产生铁锈；
2.为防压缩空气喷射到导轨面产生冷凝水，管路内应该设置排水口，用于排除冷凝水和油分（选用的冷冻干燥机应该具备10℃或更低的露点温度）；
3.管线禁止使用金属管线，以防生锈污染（最好采用柔性管线连接，尽量缩短长度，以减少管线中的压降）；
4.对于空气湿度较大的区域以及三坐标本身空压设备陈旧， 压缩空气中含杂质较大，必须增加冷冻干燥机等后处理设备；
5.空压机、冷冻干燥机等前置过滤装置，安装在三坐标测量机后方墙体之上便于观察的位置，放水口处放置盛水容器。
6.把供气部件安装在机房外面（建议空压机到三坐标测量机的距离不小于50m），主要是防止空压机运行时带来振动源，如若不然，需要考虑为三坐标测量仪安装减震装置了。
三坐标测量机配置的空压机的品牌有：金星，圳晖，聚才，红五环，开山，屹能，盛怡德莱奥兰，柳二空，柳富达，宝勒特，优耐特斯，斯可络，正立精工，日豹，捷豹，复盛，威尔泰克，百坚，飞和，浪潮，锡压，德斯兰，莫西尼，昌盛，永邦，金牛，羽佳，普度，康克尔，爱森思，艾尔普，艾能，豪达尔，汉爵，巨风，阿特拉斯，英格索兰，寿力，昆西，德耐尔，康普艾，博莱特，复盛，日立、神钢、凌格风等。
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