三坐标测量室的湿度不仅会影响座标机的测量误差，而且会损坏三坐标测量机电器等零件，造成三坐标故障，还会严重影响三坐标测量机寿命。
     机房湿度太大，空气中的水汽会很快凝结在温度相对比较低的三坐标测量机导轨和部件上，会使三座标测量机的气浮块和某些部件严重锈蚀，影响三坐标测量机寿命。而计算机和控制系统的电路板会因湿度过大出现腐蚀或造成短路，形成三坐标故障。
     湿度也不是越低越好，太低了，主机上的一些润滑油、其他的油膜容易干，玻璃透镜上面的镀膜容易坏，粘剂容易开，也不好。湿度小，还会严重影响花岗石的吸水性，可能造成花岗石变形。干燥空气中的灰尘和静电会对控制系统造成危害。所以，三坐标机房的湿度要慎重保证。
      三坐标检测室的环境湿度一般控制在35～65％。三座标机除自带油水分离器外，一般机房还得配上冷冻式干燥机。干燥机要与三坐标机房的环境湿度相匹配，我国北方湿度相对小一些，可匹配功率小一些的冷干机，一般6到8个立方的流量就可以了。如果湿度太小，小于35％，还要洒水，增大湿度稍大于35％；南方湿度大，匹配功率大一些的干燥机，至少8个立方的流量，湿度控制在65％以下，35％以上。干燥除湿机和空调机一样，下班时间也要开机，不能上班开机，下班关机。
     三坐标机房环境严重影响测量精度，要控制坐标测量机的使用环境，严格弄好温度，湿度，气源，可以延长三座标的使用寿命。

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