三坐标测量机采用全大理石构造，因此自身对温度的要求比传统的金属结构（铝合金、不锈钢、航空铝等）要低得多，但是由于为高精度测量设备，三坐标测量机仍然配置了温度补偿系统。

    三坐标测量机采用实时的温度补偿系统,共有8个温度传感器，X、Y、Z光栅两端各1个，被测产品上可以放置2个。传感器可以实时地感知实际温度，并将数据传输给控制系统和软件，软件根据当前的温度和选定的材料的热膨胀系数，在计算实际尺寸时将温度变化引起的产品尺寸变化考虑在判定结果内。温度补偿系统的应用，提高的实际应用精度。