纳米三坐标测量机科技是当今的前沿科技领域，然而只有当能够对纳米尺度进行测量时纳米科技才能成为真正的科学。目前纳米尺度的测量已从一维测量走向三维测量。图11 是德国伊尔梅诺大学研制的世界上第一台商品纳米三坐标测量机。我国台湾大学教授、合肥工业大学长江教授范光照也与合肥工业大学一起研制了我国第一台纳米三坐标测量机。这些测量机都具有以下特点。（1）采用具有纳米分辨力的原子力显微镜或近场光学显微镜等作为测头。（2）采用激光标尺，以实现米定义的溯源。（3）采用高精度细分技术获得纳米分辨力。（4）采用微晶玻璃等零膨胀系数材料构筑测量机主体测量框架，消除温度的影响。（5）在结构布局上尽可能符合阿贝原则，减小阿贝误差。（6）采用电容传感器等测量移动部件的角运动误差，并采用硬件补偿调整或软件补偿的方法减小角运动误差的影响。